使用靜壓上銀絲桿可以減少摩擦力
運(yùn)用靜壓技術(shù)的目的是消除相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件之間的機(jī)械接觸,然后大大減小或消除定位系統(tǒng)中的抵觸力。眾所周知,抵觸是精密定位的首要妨礙,它會(huì)影響系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)照應(yīng)特性并致使穩(wěn)態(tài)差錯(cuò)。常用的靜壓上銀絲桿首要有空氣靜壓絲桿和液體靜壓絲桿,液體靜壓絲桿相對(duì)于空氣靜壓絲杠具有更高的剛度和非常好的精度。
當(dāng)時(shí)可以滿足超精密定位需要的驅(qū)動(dòng)安排首要有: 靜壓上銀絲桿、直線電機(jī)、抵觸驅(qū)動(dòng)安排,他們都在實(shí)踐中獲得了優(yōu)于10nm 的分辨率。在完結(jié)納米級(jí)分辨率和定位精度的一起, 工業(yè)運(yùn)用中更重要的是要選用老到牢靠的機(jī)械安排、簡略的控制結(jié)構(gòu)和算法, 并且易于維護(hù)、經(jīng)濟(jì)性好。靜壓絲桿多用于大型超精密加工設(shè)備和超精密測(cè)量設(shè)備中。由于具有極小的抵觸系數(shù),沒有爬行和反向空地,它可以在較長的行程上堅(jiān)持納米級(jí)的分辨率,并且可以長時(shí)間堅(jiān)持精度。
靜壓上銀絲桿需要附加的靜壓設(shè)備、衰減設(shè)備和振動(dòng)克制技術(shù), 本錢較高。一般的用戶都不會(huì)選用靜壓絲桿，利用各種能減少摩擦的手段，也能在一定程度上增加絲桿的壽命，這樣可以大大節(jié)約成本。
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